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ZKDRP系列 射頻電源
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光伏產(chǎn)業(yè)、化工業(yè)、制造業(yè)、平板顯示器行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、科學(xué)研究等 等離子體清洗、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)、等離子體刻蝕、射頻離子源、等離子體擴(kuò)散、等離子體聚合濺射、薄膜沉積、硅晶鍍膜等

產(chǎn)品特點(diǎn)

   ● 模塊化設(shè)計(jì)，可拆裝機(jī)架式安裝方式;

   ● 可配置脈沖同步；
   ● 支持通用標(biāo)準(zhǔn)的相位調(diào)節(jié)，
   ● 保護(hù)功能齊全，響應(yīng)速度快；

   ● 功率輸出高穩(wěn)態(tài)；
   ● 通訊接口多樣可選；

    工作頻率：13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz

    輸出功率：300W、600W、1kW、1.5kW、2kW、3kW、6kW、8kW、10kW或定制


產(chǎn)品參數(shù)

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